洁净度检测：使用粒子计数器检测空气中悬浮粒子数，确保符合ISO 5-8级标准（如ISO 5级≤3520颗粒/m3）；表面擦拭采样检测浮游菌及残留物，无可见污渍或纤维。
工具与材料核查：确认清洁工具（HEPA吸尘器、无尘布）及耗材（专用中性清洁剂）符合防静电、无颗粒要求，无交叉污染风险。
操作规范复核：检查施工顺序是否按“从上到下”执行，人员是否穿戴无尘服并经风淋室除尘，动作是否轻缓避免扬尘。
数据留存与返工：验收报告需包含检测数据、照片及签字确认，不合格区域需限期返工并重新检测，确保符合生产环境要求。
