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防静电工具:选用防静电无尘布、无尘拖把及吸尘器(配HEPA滤网),避免静电吸附颗粒或刮伤精密表面。
清洁设备:使用专用中性清洁剂(pH值6-8),禁止含颗粒、腐蚀性或易挥发成分;配备高压气枪(配过滤装置)清除设备缝隙灰尘。
人员防护:配备无尘服、手套、口罩及护目镜,经风淋室除尘后进入,防止人体脱落物污染环境。
存储与管理:工具设备需存放于洁净柜,定期检测滤网及防静电性能,损坏或污染时立即更换,确保持续符合无尘标准。