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洁净度要求:根据车间等级(如ISO 5级≤3520颗粒/m3,ISO 8级≤352000颗粒/m3),清洁后空气悬浮粒子数及表面洁净度需达标,无可见残留物。
工具与材料:使用防静电无尘布、HEPA滤网吸尘器及专用中性清洁剂,禁止使用含颗粒或易脱落纤维的工具,防止交叉污染。
操作规范:按“从上到下”顺序清洁,动作轻缓避免扬尘;人员需穿戴无尘服、手套,经风淋室除尘后进入。
验收检测:清洁后需检测粒子数、浮游菌等指标,留存数据报告,不合格区域立即返工,确保符合生产环境标准。